精密電鋳（MEMS）

MEMS

MEMSとは、Micro Electro Mechanical Systems（微小電気機械システム）の頭文字からメムスと呼ばれています。その技術は、自動車エアバッグの衝撃検知、スマホ、ハードディスク落下検知で使われる加速度センサーや、プロジェクターで光を制御するミラーデバイスなど、幅広い分野における多様な製品の高付加価値化(高機能化、安全化等)を支える必要不可欠なデバイスとして活用されています。

当社では、MEMS（微小電気機械システム）プロセスにおいて3Dフォトリソグラフィを応用し、三次元形状の精密電鋳めっきを実現しました。レーザー直接描画装置を用いたミクロンオーダーの三次元形状レジスト（型）を平面基板に形成する3Dフォトリソグラフィ技術と、微小形状かつ高精度の電鋳プロセスを開発しています。

最小形状は約１µm、最大エリア（平面基板）は□200mmまで形成可能で、高耐食性電鋳金属を特長として、パラジウムニッケル、ニッケルリン、ニッケル、ニッケルコバルト、ニッケル鉄など、様々な電鋳合金への展開を開発しています。